伤害某半导体技术集成块生产制造商,晶圆手工加工期间中导致含硅、氟的专项 废水正确处理外理,规划外理投资规模1200吨/日。废水正确处理外理基本成分缜密,带有微米级硅颗粒剂及盐酸,传统性外理技巧根本无法及格。
生活污水营养成分及来历
常见危害物
:胶体溶液硅(100-500nm孔径)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
种类流程
:晶圆刻蚀污废渣 (45%)、CMP电化学设施打磨污废渣 (40%)、设施清洗水(15%)
处里工艺设备流程图
转型升级用到"化学上沉垫+防化膜转移"新技术规划:
钙盐凝固
:加药氯化钙除掉氟阳离子(生产CaF2滤渣)
斜管沉淀池反映
:混合斜管沉淀池剂实行溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜挪作他用微细颗粒状
反融入体系
:脱盐率>98%,收废率75%
蒸馏心得
:浓水段保持氟化物零直接排放
既定使用效果
氟化物浓度值:<8mg/L(如果低于的国家一层标10mg/L)
硅含量:<5mg/L
自然资源性回收利用率:70%用作玻璃钢冷却塔塔皮肤补水
危险废物减轻:挥发食物残渣量较传统型工艺设备抑制60%