某光电器件制造厂工业企业因晶圆除污多种工序呈现含氨废水鑫霖环保，的水量200吨/天。废水鑫霖环保中除氟化物外还包含有氟化物和微量分析天价属，加工难易大。日本排放量原则规范氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理化学成分及种类 晶圆除污废水处理工艺（大部分原因）：含氟化物200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺技术废气：含少量铜、镍等高价属，pH值价格波动大 CMP机磨废水处理方法：含硅顆粒及挥发酚 除理技艺方法 运用"电学沉淀自己+膜拆分+折点氯化"女子组合艺： 预补救 ：污泥脱水CaCl2除氟，操纵pH在7.5-8. 超滤膜装置 ：祛除0.01μm以内小粒物 反融合溶缩 ：将氟化物提液至1000mg/L大于 折点氯化 ：高精度把控氯添加量，将氟化物图片转换为氦气 亚铁离子交互 ：保险血本属及格 之后功效 氯离子不稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 巨资属含氧量高于的检测限 水工业废水处理率达75% 飞灰呈现量以减少40%