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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆分娩线搭配的超注射用水整体,一天形成含硅电镀废水150吨。电镀废水下虽无高价属,但硅分子量高易积灰,且热敏电阻率需做到18MΩ·cm就能造纸废水加工处理。和原有加工处工院艺是无法提供新颁行的《电子器件工業水感染物排出规则》(GB39731-2020)特意排出最大限度。 废渣含量特别 大部分废弃物物 :溶液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(孔径0.1-1μm) 特定符合要求 :TOC<10μg/L,硼量<5μg/L 土质特质 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅类化合物形态特征僵化 工作工艺设备程序 的创新按照"梯级膜分离出来+电去亚铁离子"组合名字制作工艺: 微滤预正确处理 :1μm卫浴陶瓷膜阻拦大粒状硅,通量稳定80LMH 化合物对换环氧树脂 :D201大孔树脂材料采用性粘附硅酸碳原子 二次元RO操作系统 :第一名段回收公司率60%,最后段利用高脱硼膜元器件 EDI电去阴离子 :电压规格2A/m²,定期洗去残渣亚铁离子 太阳光的紫外线消毒杀菌 :254nmUV线的用药量40mJ/cm² 水平突出点 开放专用型阻硅剂(无机胺类塑料物),推迟膜污染破坏的周期3倍 EDI摸块去创新流道装修设计,硅除去率提高自己至99.8% 在线上硅进行分析仪器(衡量比率0.1-500μg/L)调控脱贫攻坚调控 正常运作成果 经再者方检测工具: 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含量的从8μg/L低于0.3μg/L 设计二手回加标回收率从原40%升高至68% 膜更新周期性延缓至5年,年作业成本投入较低35%

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