工作情况
昆明某半导体器件厂出产进程中还构成高硅生活污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟生活污水(F⁻ 200-300mg/L)。两种类型生活污水结合后容易构成氟硅酸悬浊液,经典化学放置法易于平稳及格。大型项目请求同步操作快速清理硅和氟(排放物条件:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
污废水 有效成分及来源地
首要组分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
特征
:晶圆刻蚀废渣、CMP研磨机废渣、生产设备冲刷水
操作生产工艺步奏
推进沉淀物环节
:
二级反應池
:
1级加药Ca(OH)₂导出CaF₂和CaSiO₃沉淀物中;
二、级添加PAC(汇聚氯化铝)进阶斜板沉淀池。
固液溶合环节
:
反渗透膜系统性
:所采用0.02μm内径膜零部件挤占电解质溶液硅和微细沉淀自己物。
广度脱氟的时候
:
活性氧空气氧化铁吸咐塔
:稳定度氟铁离子吸收我们要除。
终极成果
有水出SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远高于国家基准。
反渗透膜控制系统通量安全稳定在15LMH,催化进行维护清洁期限变长至60天。
污泥处理经压滤后含水分率<65%,可按一样固体废弃物救治。