该晶圆创造厂靠近西北地区划分,其主要研发8屏幕尺寸半导体芯片晶圆,每日废渣释放量下跌约800吨。基于研发整个过程中操作很大氢佛酸做晶圆蚀刻,造成的废渣中氟化物浓度值可高达200-300mg/L,远超中国释放标准单位(10mg/L如下)。
废污水化学物质及从何而来
生产废水主要的来于6个重要环节:
晶圆蚀刻流程
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、硝酸钠及一少部分巨资属
化学工业自动化镜面抛光剂(CMP)焦化废水
:含nm级硅粒状、可挥发络合剂
设配擦拭废气
:含异丙醇、化学需氧量等充分物
治疗新工艺具体流程
所采用"化学上放置+混凝土放置+深层进行过滤"三级视频处里程序:
一级通过成绩处里
:污泥脱水氯化钙和氢防氧化钙,导致氟化钙凝固,氟化物祛除率达85%
特殊加工处理
:增添PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),出掉电解质溶液态环保问题物
三级考试治理
:按照多材质脱水器和活性酶炭吸收,留水氟化物氧化还原电位稳固在8mg/L一些
根本主设备涉及:pH一键的调节体统、斜管积淀池、板框污水压滤机(污水缺水)。
进而实际效果
大型项目工作五年期监测站数剧体现:
氟化物均衡有机废气浓度:7.2mg/L(如果低于国家地区要求)
COD取除率:92%
淤泥含水分率:≤65%
年收旧氟化钙副成品约150吨,改变资源性化利用