某半导体技术厂在制作工作中安全使用氯化铵系显影液液,会产生高氧化还原电位含NOx电镀废水,日治疗量50吨。电镀废一般的水都含NO2-高达到2000mg/L,且所含进样器巧妙光刻胶含量,治疗难易较高。
2. 废污水因素及特征
定影工艺程序废水(注意环境水污染源)
晶圆清洁生活污水
的废气洗滌塔排水口
3. 净化处理生产工艺方案
利用"层级硫化+多级海洋生物外理"转型升级工艺流程:
二氧化的碳氧化的
:能够嗅氧会出现器带来O3,将难化学降解有机的物工业制硝酸为小氧分子物质,同一将NO2-脱色为NO3-。
生物制品膜的催化反应器(MBR)
:
第一名级:乏氧坏境下加药系统甲醇看作碳源,提高反反硝化细菌现象
第二种级:好氧生物制品膜进步分解有机质物
有机化学上的层次操作
:用钛基镀层电级,使用电解法意义撤底细化稳定度严重固体废弃物。
4. 结果是治疗效果
NOx总氮降为8mg/L一些
COD稳定可靠在30mg/L时间内
废水处理工艺回收利用率达60%
系统软件工作耗能抑制在3.5kWh/吨水,较经典方法节水20%。